烟气中NOx 的主要组成是NO（占95%），NO 难溶于水，而高价态的NO2、N2O5等可溶于水生成HNO2 和 HNO3，溶解能力大大提高。作为一种清洁的强氧化剂，在典型烟气温度下，臭氧脱硝的原理在于臭氧可以将难溶于水的NO 氧化成可溶于水生成HNO2 和 HNO3 的NO2、N2O3、N2O5 等高价态氮氧化物。臭氧对NO 的氧化效率可达84%以上，结合碱吸收法，脱硫率近100%，脱硝效率也在O3/NO 摩尔比为0.9 时达到86.27%。将臭氧通入烟气中对NO 进行氧化，然后采用碱液进行吸收，   终将NOx 转化为硝酸盐和N2，NOx 的去除率高达95%，SO2 去除率约为100%。通过实验将O3注入烟气进行脱除SO2、NOx 的研究，然后采用碱吸收塔对烟气进行洗涤，结果表明NOX 的脱除率与O3的注入量有关，当O3加入量为200ppm时， NOX 的脱除效率可达到85%，此工艺对NOX 和SO2的脱除率   高可分别达到97%和100%。采用此技术可得到较高的NOX 脱除率，典型的脱除范围为70%～90%，甚至可达到95%，并且可在不同的NOX 浓度和NO/NO2的比例下保持   。也不存在类似SCR 中NH3 的泄漏问题。该技术应用中 SO2 和CO 的存在不影响NOX 的去除，也不影响其他污染物控制技术。采用臭氧的   氧化技术不仅对NOX 具有良好的脱除效果，而且对烟气中的其他有害污染物，比如重金属汞也的去除能力。应用YDG-OX脱硝技术是利用现有烟气脱硫除尘工艺中原有设备作为脱硝反应器，将氧/臭氧混合气注入烟道，将NOX氧化成高价态且易溶于水的N2O3和N2O5，然后通过洗涤形成HNO3。该技术广泛应用于用于石油精炼厂中加热器、锅炉等的废气治理。